Product Center.
产品中心
CAS号:75-76-3
英文简称:4MS
纯度:≥99.9%
等级:6N
用作化学气相沉积(CVD)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的前驱体，用于制备高质量的碳化硅薄膜。
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