高纯ALD/CVD前驱体


High-K前驱体

描述

Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium

Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium

四（甲乙氨基）锆（TEMAZr）
175923-04-3
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

五（二甲氨基）钽（PDMAT）
19824-59-0
Tetrakis(dimethylamido)zirconium

Tetrakis(dimethylamido)zirconium

四（二甲氨基）锆（TDMAZr）
18756-04-8
Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Hafnium

Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Hafnium

环戊二烯基三(二甲氨基)铪（CpTDMAH）
941596-80-1
Tetrakis(dimethylamino)titanium

Tetrakis(dimethylamino)titanium

四（二甲氨基）钛（TDMAT）
3275-24-9
Tetrakis(dimethylamino)hafnium

Tetrakis(dimethylamino)hafnium

四（二甲氨基）铪（TDMAHf）
19782-68-4
Titanium tetrachloride

Titanium tetrachloride

四氯化钛（TiCl4）
7550-45-0
Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium

Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium

环戊二烯基三(二甲氨基)锆（CpTDMAZ）
33271-88-4

Low-K前驱体

描述

Triethyl phosphate

Triethyl phosphate

磷酸三乙酯TEPO
78-40-0
Triethyl borate

Triethyl borate

硼酸三乙酯（TEB）
150-46-9

硅烷类前驱体

描述

Tetramethylsilane

Tetramethylsilane

四甲基硅烷（4MS）
75-76-3
Diiodosilane

Diiodosilane

二碘硅烷（DIS）
13760-02-6
Diisopropylaminosilane

Diisopropylaminosilane

（二异丙基氨基）硅烷（DIPAS）
908831-34-5
Bis(t-butylamino)silane

Bis(t-butylamino)silane

双(叔丁基氨基)硅烷（BTBAS）
186598-40-3
Bis(diethylamino)silane

Bis(diethylamino)silane

双（二乙基氨基）硅烷（BDEAS(SAM24)）
27804-64-4
Octamethyl cyclotetrasiloxane

Octamethyl cyclotetrasiloxane

八甲基环四硅氧烷（OMCTS）
556-67-2
Diethoxymethylsilane

Diethoxymethylsilane

甲基二乙氧基硅烷DEMS
2031-62-1

定制类前驱体

描述

Trimethylaluminium

Trimethylaluminium

三甲基铝（TMA）
75-24-1
Octane

Octane

正辛烷（OTA）
111-65-9
Tris(N,N'-di-i-propylformamidinato)lanthanum(III)

Tris(N,N'-di-i-propylformamidinato)lanthanum(III)

三（N,N-二异丙基甲脒）镧（La-FMD）
1034537-36-4